實驗目的：

1、瞭(le)解最基本的真空系統的結構(gòu)
，掌握真空系統的操作方法； 

2、瞭(le)解真空技術的基本知識(shí)，學習真空系統的基本方程； 

3、掌握高真空的獲(huò)得、測(cè)量的基本原理及方法； 

4、機(jī)械泵抽速測(cè)定； 

5、擴(kuò)散泵抽速測(cè)定； 

6、系統漏率的測定。

設備組成
：

1、實驗儀主要由真空儲(chǔ)氣瓶、玻璃油擴散泵、真空測(cè)量儀表
、高真空閥門、流導調節管
、電控系統等組成。

2 、設備(bèi)的真空室、 由擴散泵、真空管路部件均可視化設計(jì)； 

3、電(diàn)氣控制有安全防護，防止誤操作對人員和設備(bèi)造成損傷； 

4、採(cǎi)用不鏽鋼、真空波紋管結合管路，閥(fá)門爲 316L 不鏽鋼高壓雙卡套球閥(fá)；

技術參數：

1、真空儲(chǔ)氣瓶
： 304 不鏽鋼(gāng)，

尺寸：約 φ200 x 480mm （以實際設計(jì)爲準）；容積(jī)約 15L 

2、真空測(cè)量：數顯複合真空計；電(diàn)阻規＋電(diàn)離規測(cè)壓範圍： 1xE5~1xE-5 Pa  數量： 2套

3、真空系統： DRV10 雙極(jí)旋片泵＋四級(jí)玻璃擴散泵
， 擴散泵需水冷； 

4、極(jí)限真空： 5xE-3 Pa; 

5、3 組流導(dǎo)調(diào)節管路，組成三種不同的抽氣流導(dǎo)， 

6、工作電(diàn)源： AC220V ± 5%50Hz; 

7 、整機(jī)功率： 2kW 

8、用戶需自備(bèi)或另購(gòu)工業水冷機組 

9、機(jī)架：鋁(lǚ)合金型材機(jī)架。