超聲霧化熱解噴塗（Ultrasonic Spray Pyrolysis，USP）是一種重要的薄膜材料制備(bèi)方法。這種方法的基本過程是：利用超聲波空化作用把特定成分和濃度的前驅體溶液霧化爲粒徑微米量級的小液滴 ( 通常超聲波工作頻率在 MHz 量級 )，在一定流速載氣輸運下前驅體氣溶膠到達加熱的襯(chèn)底表面附近，膠體粒子發生熱分解後固态生成物沉積到襯(chèn)底材料表面形成薄膜。

主要用途和适用範圍

用 於(yú) 高 校、 科 研 院 所 用 於(yú) 制備(bèi) 單 元 和 多 元 氧 化 物、 硫 化 物、氯化物薄膜材料
，典型的薄膜材料如 ZnO、TiO 2 、NiO、AL 2 O 3 、CdS、SnO 2 、ITO 等等。

主要技術參數