本系列實驗裝置是一款緊湊型等離子薄膜濺射儀，專門設計爲在基底上鍍上金屬膜，如金，鉑(bó)，铟和銀等。最大可放置樣品尺寸直徑爲 40mm，膜厚可達 300 埃，特别适用於(yú)爲 SEM 樣品鍍上金而作爲導電極。

主要技術參數