本裝置由公司和武漢工程大學聯合研制，由微波源
、真空系統、供氣系統、微波傳輸及微波諧振腔等部分組成。适合大學近現代物理、材料、化學等領域進行微波 CVD 原理與方法的教學、研究，金剛石與類金剛石薄膜制備(bèi)實驗及科學研究，以及用於(yú)生長碳納米管、氮化矽、碳化矽等超硬膜，具有生長速度快、操作簡便、性價比高等優點。同時可完成等離子體刻蝕加工實驗、微波等離子體表面改性等實驗。

技術參數